サファイア基板 - タンタル酸リチウム(LiTaO3)ウェーハ
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タンタル酸リチウム(LiTaO3)ウェーハ 説明:
タンタル酸リチウム(LiTaO3)ウェーハ 直径:2インチ、3インチ、4インチ、5インチ-7インチ 標準生産の規定に従って 厚さ:500¡À15¦Ìm、1000¡À20¦Ìm 見当識:X軸Y軸Z軸¡À0.1¡ã Y軸36¡ã回転、Y軸42¡ã回転 TTV¡Ü10¦Ìm¡Ü15¦Ìm¡Ü20¦Ìm¡Ü30¦Ìm BOW¡Ü10¦Ìm¡Ü15¦Ìm¡Ü20¦Ìm¡Ü30¦Ìm 前面:10/5 裏面:細かい地面(#240 /#180);磨かれた(10/5) 面取り:<0.3 mm、45¡ã¡À5¡ã 中国の工場。
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